发明名称 | 线复制测试设备的后端 | ||
摘要 | 一种测试设备包括至少一个在其上有至少一个产品电路图形的产品层,和一个或更多个形成于产品层上(1902)的复制层。所述一个或更多个复制层包括多个结构,该多个结构可以包括复制测试电路图形和/或复制测试设备通路(1902)。一个或更多个复制层中存在的一个或更多个缺陷(1904)指示产品电路图形影响形成于产品中(1910)产品电路图形之上的一后续层成品率的可能性。 | ||
申请公布号 | CN1650296A | 申请公布日期 | 2005.08.03 |
申请号 | CN03809434.7 | 申请日期 | 2003.02.27 |
申请人 | PDF技术公司 | 发明人 | 丹尼斯·J·契普利卡斯;克里斯托弗·赫斯 |
分类号 | G06F17/50 | 主分类号 | G06F17/50 |
代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘芳 |
主权项 | 1、一种测试设备,包括:至少一个产品层,该产品层上有至少一个产品电路图形;在所述产品层上形成的一个或更多个复制层,所述一个或更多个复制层包括选自由复制测试设备电路图形和复制测试设备通路构成的组的多个结构,其中所述一个或更多个复制层中存在的一个或更多个缺陷指示产品电路图形影响产品中在所述产品电路图形上将形成的一后续层成品率的可能性。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚 |