激光退火方法及激光退火装置

摘要

在用光束整形器把由调制器调制过的激光整形成细长形的光束时，使光束整形器整形为细长形的光束沿扫描方向的尺寸为2～10μm、2～4μm更好，扫描速度为300～1000mm/s、500～1000mm/s更好，从而使激光能源利用效率高，而且能够不易对硅薄膜产生损伤。这样，就能够以高产量在扫描照射激光的基板上的规定区域内得到横方向生长结晶(带状结晶)的区域。

主权项

1.一种激光退火装置，具备产生激光的激光振荡器、把振荡的激光整形成细长形的光束整形器和用于安置·移动应照射被整形成细长形的激光的基板的工作台，其特征在于：所述光束整形器由衍射光学元件构成或者由波尔(powell)透镜和柱面透镜的组合构成；并具备使由所述光束整形器整形成细长形的激光缩小投影到所述基板上使照射到所述基板上时短方向的尺寸为2～10μm的成像透镜。