发明名称 Deposition methods and apparatus
摘要
申请公布号 GB2390378(B) 申请公布日期 2005.08.03
申请号 GB20030014514 申请日期 2003.06.23
申请人 * TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人 PAUL * RICH
分类号 C23C14/50;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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