等离子体沉积镀膜系统的废气过滤装置

摘要

本发明提供了一种等离子体沉积镀膜系统的废气过滤装置包括：一级过滤装置和二级过滤装置；所述的一级过滤装置的作用是过滤废气中颗粒较大的异物，所述的二级过滤装置的作用是过滤废气中颗粒特别细小的异物。本发明的有益效果是：结构简单，对废气进行二级过滤，在一级过滤装置中，颗粒较大的异物已被过滤掉，进入二级过滤装置进行二级过滤的废气中只混有颗粒特别细小的异物，因此有效地防止了颗粒较大的异物对滤芯的阻塞，延长了滤芯的使用寿命，提高了等离子体沉积镀膜系统的生产效率。

主权项

1.一种等离子体沉积镀膜系统的废气过滤装置，其特征在于：包括一级过滤装置(110)和二级过滤装置(220)；所述的一级过滤装置(110)包括：外管(112)、废气流入管(111)、内管(114)和异物收集容器(113)；所述的废气流入管(111)一端与废气排出通道(105)相连通，另一端与外管(112)上部相连通；所述的内管(114)一端插入外管(112)内，其外壁与外管(112)的内壁之间留有间隔，另一端与二级过滤装置废气流入口(221)相对接并于二级过滤装置(220)的内腔相连通；所述的异物收集容器(113)位于外管(112)的下部并与外管(112)成一体连通结构；所述的二级过滤装置(220)包括：二级过滤装置壳体(223)、区划板(224)和若干个滤芯(225)；所述的二级过滤装置壳体(223)的上侧部设有二级过滤装置废气排出口(222)，下部设有二级过滤装置废气流入口(221)；所述的区划板(224)设置在二级过滤装置壳体(223)内部空间的中部，将二级过滤装置壳体(223)内部空间分隔成废气进入区和废气排出区两个区域；所述的滤芯(225)安装在区划板(224)上。