步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线及总线平台

摘要

一种步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线，包括非复用的控制信号线、地址信号线和数据信号线。本发明还提供了用于实现上述总线技术的步进扫描投影光刻机的同步控制总线平台。该平台由一个总线控制器、多个位置数据采集卡、多个运动控制卡组成，它基于同步广播、地址循环队列和计数器翻转机制。在控制系统工作过程中，总线控制器一方面通过连续的循环地址广播的方式来同步各总线从设备；另一方面，在与某次循环节拍相应的设定总线周期，总线控制器还可以触发外部同步对象的同步操作。同步广播总线的所有从设备都按照相同的时间基准并行工作。这样就保证了整个控制系统能够严格的同步工作，完成同步数据传输、同步数据处理和同步实时控制功能。

主权项

1、一种步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线，包括控制信号线、地址信号线和数据信号线，其特征在于：它是一种非复用总线。