| 发明名称 |
FORCED CONVECTION ASSISTED RAPID THERMAL FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1559133(A1) |
申请公布日期 |
2005.08.03 |
| 申请号 |
EP20030811211 |
申请日期 |
2003.08.27 |
| 申请人 |
WAFERMASTERS, INCORPORATED |
发明人 |
YOO, WOO, SIK |
| 分类号 |
C30B31/12;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;C23C16/46;C30B25/10 |
主分类号 |
C30B31/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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