测量电镀浴中的添加剂浓度

摘要

本发明提出了一种利用电分析技术测量电镀溶液的目标组分的方法，其中电镀溶液包括一种或多种其副产品使得对电分析技术的能量输入的初始电响应偏离的组分。该方法包括一个第一步骤，在第一步骤中通过向置于电镀溶液中的一对电极(10，20)提供能量输入来启动目标组分的电分析测量循环。到电极对的能量输入至少持续一预定的时段，这一预定时段相当于电分析测量循环在其中达到稳定状态条件的时段。在其后的一个步骤中，当电分析测量循环达到稳定状态条件之后，进行电分析技术的能量输出的电分析测量。然后，用电分析测量确定电镀溶液中目标组分的量。本发明还提出了一种包括上述方法和/或在闭环系统中的一种或多种已知的电分析技术的自动定量供料系统(100)。

主权项

1.一种利用电镀和/或剥离电分析技术测量电镀溶液目标组分的方法，电镀溶液包括一种或多种形成副产品的组分，该副产品使得对电分析技术的能量输入产生的初始电镀和/或剥离响应发生偏离，所述偏离持续第一时段，在超过所述第一时段时这样的偏离可以忽略，该方法包括以下步骤：通过向置于电镀溶液中的至少一对电极提供电能输入来启动对目标组分测量的电镀和/或剥离电分析测量循环，所提供的电能输入至少持续预定的时段，该预定时段超过所述第一时段；在经过所述第一时段之后、而在经过所述预定时段之前，进行电分析技术的能量输出的电分析测量；利用电分析测量确定电镀溶液中目标组分的量，以便减小在计算目标组分的量时由一种或多种副产品所引起的偏离所述初始电镀和/或剥离响应的影响。