制造氧化物超导薄膜的方法

摘要

本发明提供了一种制造氧化物超导膜的方法，通过使用激光沉积法而在基质上形成，该方法包括用激光束辐照靶，并因而使从靶中散发的物质沉积在包括单晶基质的基质上，其中将用于靶辐照的激光束的频率分成至少二步。以致可制造出具有高临界电流密度的氧化物超导膜。

主权项

1.一种根据脉冲激光沉积法，因用激光束辐照使从原材料散发的物质沉积在单晶物质上，而在单晶基质上制造氧化物超导膜的方法，其中原材料的辐照，其实施方式是要使激光束的脉冲辐照重复频率分成至少二步。