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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING PLASMA PROCESSING OPERATIONS
摘要
申请公布号 EP1105703(A4) 申请公布日期 2005.08.03
申请号 EP19990918803 申请日期 1999.04.23
申请人 SANDIA CORPORATION 发明人 SMITH, MICHAEL, LANE, JR.;STEVENSON, JOEL, O'DON;WARD, PAMELA, DENISE, PEARDON
分类号 G01J3/02;G01J3/00;G01J3/28;G01J3/44;G01J3/443;G01N21/71;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/00;(IPC1-7):G01J3/00;H01L21/66 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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