气密室连接管线的贯通结构、有该结构的装置及其制法

摘要

本发明提供一种能够可靠地密封气密室的壁体和贯通壁体的连接管线之间的气密室中的连接管线的贯通结构及具备这种贯通结构的排出装置。是在使连接收容在气密室(31)中的加工处理装置(2)和它的附属装置(4)的连接管线(6)贯通气密室(31)的壁体(33)的连接管线(6)的贯通结构中，具备：在连接管线(6)插通内部的同时贯通壁体(33)的贯通套管(61)；填充在贯通套管(61)的内部、密封贯通套管(61)和连接管线(6)之间的第1密封材料(63)；以及密封贯通套管(61)和壁体(33)之间的第2密封材料(64)。

主权项

1、一种液滴喷出用气密室中的连接管线的贯通结构，是由连接加工处理装置与它的附属装置的管道及/或者布线组成的连接管线的、贯通所述气密室的壁体的贯通结构，其中所述加工处理装置收容在气密室中，它的附属装置设置在气密室外部，其特征在于：具备：贯通套管，在连接管线插入通过所述贯通套管内部的同时，所述贯通套管贯通且设置在所述壁体中；填充在所述贯通套管的内部、密封所述贯通套管和所述连接管线之间的第1密封材料；以及密封所述贯通套管和所述壁体之间的第2密封材料。