基板传送装置

摘要

一种基板传送装置，包括：一基座；一具有一支撑轴及一转轴座的转轴单元，该支撑轴的一端枢接于该转轴座上，且该转轴座固设于该基座上，用以支撑并控制该支撑轴的转动；一基板承载单元，固设于该支撑轴的另一端，其包含一与该支撑轴连接的承载底座、数个位于该承载底座表面的支撑元件、一位于该支撑元件的一侧的承载顶座、以及至少一夹置于该承载顶座与该承载底座间的可伸缩元件；该承载顶座表面具有数个真空吸嘴，用以吸附与检测该基板；该可伸缩元件可调整该承载顶座与该承载底座的间距；该转轴座经由控制该支撑轴的转动而间接控制该基板承载单元的倾斜角度。本发明能确实检测基板的缺陷及校正基板的位置，并可以倾斜方式运送基板。

主权项

1.一种基板传送装置，配合传送一基板，其特征在于：包括：一基座；一具有一支撑轴及一转轴座的转轴单元，该支撑轴的一端枢接于该转轴座上，且该转轴座固设于该基座上；以及一基板承载单元，固设于该支撑轴的另一端，该基板承载单元包含一与该支撑轴连接的承载底座、数个位于该承载底座表面的支撑元件、一位于该支撑元件的一侧的承载顶座、以及至少一夹置于该承载顶座与该承载底座间的可伸缩元件；该承载顶座表面具有数个吸附该基板的真空吸嘴。