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发明名称 Image-based inspection system and method
摘要
申请公布号 GB2386418(B) 申请公布日期 2005.08.03
申请号 GB20020024887 申请日期 2002.10.25
申请人 * AGILENT TECHNOLOGIES, INC.;* AGILENT TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BARRY * EPPLER;RONALD K * KERSCHNER;MARTIN C * SHIPLEY
分类号 G01N21/956;G01N23/04;G03F7/20;(IPC1-7):G01K9/00 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
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