发明名称 | 有线基板支撑构件和使用此构件的设备 | ||
摘要 | 一种设备,其包括:一个用于处理一个基板的处理腔、一个在所述处理腔中的基座、一个在所述基座上方的支撑框架和连接到所述支撑框架的至少一条线。 | ||
申请公布号 | CN1648725A | 申请公布日期 | 2005.08.03 |
申请号 | CN200510002295.7 | 申请日期 | 2005.01.20 |
申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 黄喆周;李相道 |
分类号 | G02F1/133 | 主分类号 | G02F1/133 |
代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方;刘国伟 |
主权项 | 1.一种用于支撑一个基板的构件,其包括:一个座;一个在所述基座上方的支撑框架;和至少一条连接到所述支撑框架的线。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |