液晶显示装置及其制造方法

摘要

本发明共开了一种液晶显示装置，使透明导电层与金属层积层所产生的扫描线与像素电极同时形成，并借助于导入半色调图像曝光技术，让对栅极绝缘层形成开口部的过程，及半导体层的条纹化过程，成为合理化的新技术，配合在源极/漏极配线的阳极氧化过程，经由导入半色调图像曝光技术，使电极端子的保护层形成的过程合理化，构造出TN型液晶显示装置的四片光罩板处理方案。

主权项

1、一种液晶显示装置，在一第一透明绝缘基板之主平面上，至少具有由绝缘栅极型薄膜晶体管，可作为该绝缘栅极型薄膜晶体管栅极的扫描线，可作为该源极配线的信号线，以及连接漏极配线的像素电极所构成的单位像素于第一透明绝缘基板排列成二次元矩阵，液晶填充于与该第一透明绝缘基板相对的第二透明绝缘基板或彩色滤光片之间，其特征在于：在该第一透明性绝缘电路板的该主平面上，形成由一透明导电层和一第一金属层层叠所组成的扫描线、透明导电像素电极、以及图像显示区外部之信号线的透明导电电极端子，透过电浆保护层来形成岛状不含杂质的第一半导体层，以及形成该栅极电极上的一栅极绝缘层，在上述第一半导体层上，形成较栅极狭窄的保护绝缘层，在上述像素电极上、在该扫描线的电极端子上以及在该信号线的电极端子上的电浆保护层和栅极绝缘层形成开口部，在各开口部内露出该像素电极，该扫描线的电极端子以及该信号线的电极端子，在上述保护绝缘层的一部分以及该第一半导体层上，形成一对含有杂质的第二半导体层来构成绝缘栅极型薄膜晶体管的源极/漏极，在该栅极绝缘层上、在该第二半导体层上以及在该信号线电极端子的一部分上，形成由含有一层以上的第二金属层构成的源极(信号线)配线，该第二金属层包含一种耐热金属层，并且在该栅极绝缘层上、在该第二半导体层上以及在上述开口部之内的该像素电极之一部分上，形成漏极配线，以及在上述源极及漏极配线上，形成光敏有机绝缘层。