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发明名称 PLASMA RESISTANT ELASTOMER PARTS
摘要
申请公布号 EP1558673(A2) 申请公布日期 2005.08.03
申请号 EP20030779332 申请日期 2003.10.24
申请人 DUPONT DOW ELASTOMERS L.L.C. 发明人 IWAMOTO, KAORI;RAI, BUNICHI;SOGO, SHINICHI
分类号 H01F1/053;H01F1/08;(IPC1-7):C08K3/08;C08K3/22;H01L21/00 主分类号 H01F1/053
代理机构 代理人
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