具有行移透镜多光束扫描仪的晶片缺陷检测系统

摘要

一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。

主权项

1、一种声光器件，包括：具有有源区的晶体介质，其中声波在其中传播；用于接收RF输入的RF输入部分，所述输入部分设置在声波传播方向的一端；用于从所述光源接收光的光输入部分，所述光输入部分设置成横向于所述声波传播方向；和光输出部分；由此输入到所述RF输入部分的一系列周期性RF脉冲可操作以产生同时存在于所述有源区中的行移透镜序列，所述行移透镜可操作以在所述光输入部分接收光输入并且产生从所述光输出部分输出的斑点束。