透明材料激光内部雕刻装置

摘要

本实用新型提供了一种透明材料激光内部雕刻装置，包括激光器、扩束镜、第一振镜、第二振镜、F－θ聚焦镜和计算机，激光器包括全反镜、声光调Q器件、半导体泵浦模块、倍频晶体、输出镜，全反镜镀有基频光全反膜层，或者同时镀有基频光和倍频光双全反膜层，输出镜同时镀有对基频光透过率为4％～10％和对倍频光全透的膜层，激光器产生1～10千赫兹调Q倍频激光脉冲输出；计算机控制第一振镜、第二振镜分别在X、Y方向上快速振动，使经过扩束镜的激光束在XY方向扫描运动，控制一维电控位移台实现F－θ聚焦镜或透明材料在Z方向上的运动。本实用新型激光输出模式好，光功率稳定、效率高；雕刻速度快，适合进行大幅面透明材料的雕刻。

主权项

1.一种透明材料激光内部雕刻装置，其特征在于：包括激光器(1)、扩束镜(2)、第一振镜(3)、第二振镜(4)、F-θ聚焦镜(5)和计算机(6)；激光器(1)包括全反镜(8)、声光调Q器件(9)及其电源(13)、半导体泵浦模块(10)、倍频晶体(11)、输出镜(12)，全反镜(8)镀有基频光全反膜层，或者同时镀有基频光和倍频光双全反膜层，输出镜(12)同时镀有对基频光透过率为4％～10％和对倍频光全透的膜层，电源(13)调节声光调Q器件(9)的驱动频率，产生1～10千赫兹调Q倍频激光脉冲输出；扩束镜(2)将激光器(1)输出的激光束直径扩大，发散角压缩，使激光束通过聚焦镜(5)聚焦后的光斑直径缩小，得到小的聚焦光斑；第一振镜(3)将经过扩束镜(2)后的平行于x轴的激光束偏转成平行于y轴的激光束，第二振镜(4)将上述平行于y轴的激光束偏转成平行于z轴的激光束；F-θ聚焦镜(5)将上述平行于z轴的激光束聚焦到透明材料中；计算机(6)控制第一振镜(3)、第二振镜(4)分别在X、Y方向上快速振动，使经过扩束镜(2)的激光束在XY方向扫描运动。