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发明名称
IMPROVED AUTOMATED ROBOTIC WORKSTATION AND METHODS OF OPERATION THEREOF
摘要
申请公布号
EP1558393(A2)
申请公布日期
2005.08.03
申请号
EP20030754795
申请日期
2003.09.23
申请人
BROOKS-PRI AUTOMATION, INC.
发明人
BOCCUTI, DAVID, A.;BRANCAZIO, DAVID;GRENIER, STEVEN;BARRETT, EDWARD;GORDON, STEVEN, J.;HATHAWAY, KENNETH
分类号
B01L3/02;B01L99/00;G01N35/00;G01N35/02;G01N35/04;G01N35/10;(IPC1-7):B01L3/02
主分类号
B01L3/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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