单片双惯性参数加速度计陀螺仪

摘要

本发明涉及加速度计陀螺仪，具体为单片双惯性参数加速度计陀螺仪。本发明解决现有的加速度计陀螺仪制作工艺精度要求高、信息的后续处理程序复杂、烦琐、结构相对复杂、体积和重量相对大以及只适用于加速度和角速度方向相互垂直的状态等问题。该单片双惯性参数加速度计陀螺仪包含壳体，在壳体底板上通过弹性梁锚固有质量块，质量块两侧固定有梳齿电容，质量块由外框架和固定于外框架内的质量芯块构成，敏感梳齿固定于质量块的外框架的两侧外壁，质量块的外框架的两侧内壁固定有梳齿驱动器；在质量芯块的上、下端面和壳体顶板、底板上对应地固定有电极。其对两类惯性参量单片集成检测，可敏感同方向上的加速度和角速度值，具有较高的实用价值。

主权项

1、一种单片双惯性参数加速度计陀螺仪，包含壳体(1)，在壳体底板上通过弹性梁(2)锚固有质量块，质量块两侧固定有敏感梳齿(3)，壳体底板上固定有固定梳齿(4)，其特征为：质量块由外框架(5)和固定于外框架内的质量芯块(6)构成，敏感梳齿(3)固定于质量块的外框架(5)的两侧外壁，质量块的外框架(5)的两侧内壁固定有梳状活动驱动电极(7)，与梳状活动驱动电极配合的梳状固定驱动电极(8)固定在壳体底板；在质量芯块的上、下端面和壳体顶板、底板上对应地固定有电极(9)、(10)。