发明名称 |
METHOD OF PROTECTING SEMICONDUCTOR WAFER, AND ADHESIVE FILM FOR PROTECTION OF SEMICONDUCTOR WAFER |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20050077476(A) |
申请公布日期 |
2005.08.02 |
申请号 |
KR20050004548 |
申请日期 |
2005.01.18 |
申请人 |
MITSUI CHEMICALS, INC. |
发明人 |
KOSHIMIZU TAKANOBU;KATAOKA MAKOTO;MIYAKAWA MASAFUMI;FUKUMOTO HIDEKI;SAIMOTO YOSHIHISA |
分类号 |
H01L21/304;C09J7/02;G06K19/077;H01L21/00;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/44;H01L21/50;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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