供化学机械研磨用之研磨垫

摘要

本发明在一实施例中提供一种供化学机械研磨用之研磨垫100。该研磨垫包括一研磨体110。该研磨体包括一具有一包括凹面泡孔125之表面120之热塑性泡沫基板115。一研磨剂130涂覆该等凹面泡孔之一内表面135。该研磨剂包括一包含碳化物或氮化物之无机金属氧化物。本发明之再一实施例为一种用于制备一研磨垫200之方法。