摘要 |
本发明提供一种形成间隔物用感放射线性树脂组成物,其即使以实质上不含有350nm以下之波长的放射线曝光,也可容易形成高解析度、高灵敏度且图形形状、压缩强度、研磨耐性、与透明基板的密着性等诸性能优良的间隔物。形成间隔物用感放射线性树脂组成物,其特征为含有以下成份:〔A〕(a1)不饱和羧酸及/或不饱和羧酸酐及、(a2)含有环氧基不饱和化合物及、(a3)其他的不饱和化合物之共聚物、〔B〕聚合性不饱和化合物、〔C〕双咪唑系化合物、〔D〕具有羰基的感放射线性聚合引发剂,以及〔E〕具有二烷胺基的化合物及/或〔F〕硫醇系化合物。 |