基板承接拖盘托板及基板传送系统

摘要

本发明揭示一种具有处于一水平状态的一基板之基板承接拖盘托板，其包括用以插入基板移除工具以提升该基板之开口，并且系用以传送可以被垂直堆叠的基板承接拖盘，其中该等基板承接拖盘将被安装于一上表面上，而且用以插入该等基板移除工具的各基板移除工具插入开口被定位，以便与该等安装的基板承接拖盘之开口相对。