薄膜涂布装置及涂布方法

摘要

一种薄膜涂布装置，用以涂布一薄膜于至少两基板上。该薄膜涂布装置包含至少两平台及一喷嘴。该平台系承载且固定该基板。该喷嘴系相对于该两基板移动，藉此涂布该薄膜于该两基板上。