从一流体来源以连续的进料能力在一基板上涂布一层有机薄膜的方法与装置

摘要

一种藉由提供非聚合性化合物与流体载体的混合物，而用于涂布非聚合性化合物薄膜于基板上的方法。该混合物系抽入经加热的蒸发箱内部，且该蒸发箱具有足以将所有该非聚合性化合物及流体载体实质地转换成气相形式的内部温度。其次，经由该蒸发箱中的排出狭缝而由蒸发箱移除该非聚合性化合物及流体载体。非聚合性化合物凝结于其上的基板系邻接于排出狭缝并维持在真空。该基板为可动(诸如在腹板滚轮上)，因而允许非聚合性化合物连续涂布于基板上。