供半大气压及超大气压应用之具整体阀歧管功能之气体输送系统

摘要

一包含一外罩之气体室，含有至少一气体供应容器及被联结至气体供应容器之流动回路。流动回路系被建构且配置以自一通流气体供应容器流动被分配气体至流动回路的多数杆，每一多数之杆被以气体流动连通接合至个别气体使用程序单位。流动回路系被阀调节使得可将与个别一多数之杆联合的流动回路之区段，自流动回路的其他区段隔离，以致于程序气体可被流至一或更多之杆，而同时其他之杆被排空与清除，或在其他情况则关闭由此通过之被分配气体。