处理石英玻璃表面之方法及由此方法制得之组件

摘要

本发明提供了用于表面处理一用于一电浆处理装置的组件的方法。该组件包含至少一个曝露于电浆下之石英玻璃表面。该方法包含机械研磨、化学蚀刻及清洁该曝露于电浆下之表面以达成所要的表面形态。该组件之石英玻璃密封表面亦可由该等方法来处理。相同组件之曝露于电浆下的表面及密封表面可处理成彼此不同的表面形态。