晶圆载具门

摘要

一种晶圆载具门，其具有内门部分与外门部分。内门部分具有大致连续之内部表面。外门部分延伸覆盖至少内门部分之一部分。外门部分具有复数个形成于其中的孔。外门部分系被装附于内门部分上。