湿式清洗槽之互锁盖

摘要

本发明提供一种在半导体晶圆基材的制程中用于湿式清洗槽之互锁盖。互锁盖包含一对具有盖钩之盖面板，当盖面板处于密闭状态时，盖钩上的元件可使盖面板接合且互锁。其中至少一个盖面板设有一斜盖肩部，以使液体从盖子的外表面流下来，而避免液体聚集在盖子的外表面。