研磨组成物及研磨方法

摘要

本发明系提供一种研磨物组成物，能够在抑制浸蚀、冲蚀，维持金属膜平坦性之同时，可以维持高速研磨，用于使为了覆盖基板(该基板具有凹部)上的凹部而埋入之金属膜平坦化，其特征为该研磨组成物含有水、分子中具有碳数6以上烷基之磷酸酯、以及前述金属之蚀刻剂，且pH为5～11。