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Un procedimiento de descontaminación que comprende exponer un ítem para su descontaminación a un vapor multi- componente que incluya un vapor de peróxido de hidrógeno y vapor de agua, y detectar el vapor de peróxido de hidrógeno en el vapor multi-componente, caracterizado por: dirigir luz a través del vapor multi-componente, incluyendo la luz dirigida luz en al menos un primer intervalo de longitudes de onda en el que el peróxido de hidrógeno absorba pero en el cual el vapor de agua no absorba significativamente, y un segundo intervalo de longitudes de onda separado del primer intervalo de longitudes de onda, en el que el vapor de agua absorba y el peróxido de hidrógeno no absorba significativamente; detectar la absorbancia de la luz que ha pasado a través del vapor multi-componente en el primer intervalo de longitudes de onda y en el segundo intervalo de longitudes de onda; y determinar la concentración del vapor de peróxido de hidrógeno dentro del vapor multi-componente a partir de la absorbancia detectada en el primer intervalo de longitudes de onda; determinar la concentración del vapor de agua dentro del vapor multi-componente a partir de la absorbancia detectada en el segundo intervalo de longitudes de onda; incluir el primer intervalo de longitudes de onda una o más de una longitudes de onda entre 7500 y 8400 nanómetros; e incluir el segundo intervalo de longitudes de onda una o más de una longitudes de onda entre 5200 nanómetros y 7200 nanómetros.
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