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发明名称 Acetal Compound, Polymer, Resist Composition and Patterning Process
摘要
申请公布号 KR100504646(B1) 申请公布日期 2005.07.29
申请号 KR20010047366 申请日期 2001.08.07
申请人 发明人
分类号 C07D319/06;G03F7/039;C07D317/12;C07D317/20;C07D317/24;C08F32/00;C08F220/10;C08F222/06;C08F222/10;C08G61/02;C08G61/08;(IPC1-7):C07D319/06 主分类号 C07D319/06
代理机构 代理人
主权项
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