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发明名称 TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100505196(B1) 申请公布日期 2005.07.29
申请号 KR20000020609 申请日期 2000.04.19
申请人 发明人
分类号 B08B3/04;H01L21/68;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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