发明名称 Method of forming capacitor in semiconducotr device
摘要
申请公布号 KR100504435(B1) 申请公布日期 2005.07.29
申请号 KR19990061361 申请日期 1999.12.23
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;H01L27/108;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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