| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Positionskorrektur von optischen Elementen in einem optischen Aufbau |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69829267(T2) |
申请公布日期 |
2005.07.28 |
| 申请号 |
DE19986029267T |
申请日期 |
1998.11.16 |
| 申请人 |
COMPAGNIE INDUSTRIELLE DES LASERS CILAS, MARCOUSSIS |
发明人 |
GAFFARD, JEAN-PAUL |
| 分类号 |
G01B11/27;G01M11/02;G02B7/00;G02B27/62;H01S3/13;(IPC1-7):G02B27/62 |
主分类号 |
G01B11/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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