Verfahren zum Erkennen einer auf einem Substrat aufzubringenden Struktur mit mehreren Kameras sowie eine Vorrichtung hierfür

摘要

Es wird ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung zum Erkennen einer auf einem Substrat aufzubringenden Struktur, vorzugsweise eine Kleberraupe oder Kleberspur, mit mindestens einer Kamera, insbesondere mehreren Kameras, beschrieben. Dabei wird das Einlernen einer Referenzauftragsstruktur durch lediglich ein einmaliges Abfahren dieser Referenzauftragsstruktur derart vorgenommen, dass die Bilder aller Kameras in einer Bildsequenz gespeichert werden. Ferner wird ein Verfahren zum Erkennen einer auf einem Substrat aufzubringenden Struktur beschrieben, wobei die aufgebrachte Struktur beim Abfahren für die Bewertung der Struktur derart als optisches Abbild verarbeitet wird, dass von jeder Kamera lediglich ein Streifen des Bildes unter Bildung einer Bildsequenz aufgenommen wird und die Bildaufnahmefrequenz entsprechend der Datenverminderung durch die Aufnahme von lediglich einem Streifen des Bildes erhöht wird.