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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Messung
摘要
申请公布号 DE10317826(B4) 申请公布日期 2005.07.28
申请号 DE2003117826 申请日期 2003.04.16
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;JURCA OPTOELEKTRONIK GMBH & CO. KG 发明人 DEPIEREUX, FRANK;BOSBACH, CHRISTOF;MICHELT, BERTHOLD
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B11/14;G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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