摘要 |
Eine Fotomaske wird offenbart. Die Fotomaske weist Folgendes auf: ein erstes Muster verläuft längs einer Achse der Fotomaske, mindestens eines zweiten Musters in der Fotomaske weist einen Abstand vom und einen bestimmten Winkel zum ersten Muster auf, und Schlitze aus Chrom sind auf mindestens einem Ende jedes der Muster vorgesehen, wobei die Fotomaske eine chromlose Maske ist. |