发明名称 Verfahren zum Messen eines Magnetfeldes und damit arbeitendes Ladungsteilchenstrahlgerät
摘要
申请公布号 DE69533341(T2) 申请公布日期 2005.07.28
申请号 DE19956033341T 申请日期 1995.02.21
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SUZUKI, HIROSHI;SHINADA, HIROYUKI;KURODA, KATSUHIRO;YAJIMA, YUSUKE;TAKAHASHI, YOSHIO;NAKAJIMA, MASATO;SAITO, HIDEO
分类号 G01R33/028;G01R33/02;G01R33/10;G21K5/04;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):G01R33/02 主分类号 G01R33/028
代理机构 代理人
主权项
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