Verfahren zur Schwingungswellenfeststellung und Schwingungswellendetektor,申请号DE1998625363T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Schwingungswellenfeststellung und Schwingungswellendetektor
摘要
申请公布号	DE69825363(T2)	申请公布日期	2005.07.28
申请号	DE1998625363T	申请日期	1998.05.22
申请人	TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO	发明人	ANDO, SHIGERU;MIYANO, TAKAYA;MATSUMOTO, TOSHIYUKI;HARADA, MUNEO
分类号	B81B3/00;G01H3/08;G01H11/06;G10L15/28;(IPC1-7):G01H3/08	主分类号	B81B3/00
代理机构		代理人
主权项
地址