发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR MOVING AN OBJECT EMPLOYING PIEZO ACTUATORS
摘要
申请公布号 SG112962(A1) 申请公布日期 2005.07.28
申请号 SG20040007256 申请日期 2004.12.08
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 HENDRIKS, STEFAN GERTRUD MARIE;MATTAAR, THOMAS AUGUSTUS;LEENHEERS, GERARDUS JACOBUS CORNELIS CATHARINA MARIA
分类号 B81B3/00;B81B7/02;G03F7/20;H01L21/027;H01L41/09;H02N2/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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