摘要 |
Aufgabe der Erfindung DOLLAR A Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Prüfkarten-Trägerelement zur Messung elektrischer Eigenschaften eines Halbleiterelements, wie eines LSI-Chips, zur Verfügung zu stellen. DOLLAR A Kern der Erfindung DOLLAR A Ein Prüfkarten-Trägerelement umfasst ein mit einer Messeinrichtung zur Prüfung eines Halbleiterelements verbundenes Hauptträgerelement, ein Unterträgerelement, auf welchem ein mit dem Halbleiterelement verbundener Kontakt montiert ist, und eine beides elektrisch verbindende leitfähige Komponente, wobei das Hauptträgerelement und das Unterträgerelement miteinander verbunden sind zum Zwecke der Fixierung, und Elektroden, welche auf einer dem Unterträgerelement gegenüberliegenden Oberfläche des Hauptträgerelements angeordnet sind, und Elektroden, welche auf einer dem Hauptträgerelement gegenüberliegenden Oberfläche des Unterträgerelements angeordnet sind, elektrisch verbunden sind.
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