发明名称 Prüfkarten Trägerelement
摘要 Aufgabe der Erfindung DOLLAR A Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Prüfkarten-Trägerelement zur Messung elektrischer Eigenschaften eines Halbleiterelements, wie eines LSI-Chips, zur Verfügung zu stellen. DOLLAR A Kern der Erfindung DOLLAR A Ein Prüfkarten-Trägerelement umfasst ein mit einer Messeinrichtung zur Prüfung eines Halbleiterelements verbundenes Hauptträgerelement, ein Unterträgerelement, auf welchem ein mit dem Halbleiterelement verbundener Kontakt montiert ist, und eine beides elektrisch verbindende leitfähige Komponente, wobei das Hauptträgerelement und das Unterträgerelement miteinander verbunden sind zum Zwecke der Fixierung, und Elektroden, welche auf einer dem Unterträgerelement gegenüberliegenden Oberfläche des Hauptträgerelements angeordnet sind, und Elektroden, welche auf einer dem Hauptträgerelement gegenüberliegenden Oberfläche des Unterträgerelements angeordnet sind, elektrisch verbunden sind.
申请公布号 DE102004034357(A1) 申请公布日期 2005.07.28
申请号 DE200410034357 申请日期 2004.07.13
申请人 JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORP., AMAGASAKI 发明人 NAKASHIMA, MASANARI;TANAKA, SHIGEKAZU
分类号 G01R31/26;G01R1/06;G01R1/073;G01R31/28;G01R31/319;G11C29/48;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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