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发明名称 PROCESS FOR THE PURIFICATION OF NF3
摘要
申请公布号 KR20050076818(A) 申请公布日期 2005.07.28
申请号 KR20050005205 申请日期 2005.01.20
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 HART JAMES JOSEPH;HENDERSON PHILIP BRUCE;WITHERS HOWARD PAUL JR.;RAO MADHUKAR BHASKARA;SUBAWALLA HOSHANG
分类号 B01D53/14;B01J20/02;B01J20/04;B01J20/06;B01J20/08;B01J20/10;B01J20/18;C01B7/19;C01B9/08;C01B21/083;C01G41/04;(IPC1-7):C01B7/20;C01B21/04 主分类号 B01D53/14
代理机构 代理人
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