| 发明名称 |
SUB-ATMOSPHERIC SUPPLY OF FLUORINE TO SEMICONDUCTOR PROCESS CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG112892(A1) |
申请公布日期 |
2005.07.28 |
| 申请号 |
SG20030005705 |
申请日期 |
2003.10.01 |
| 申请人 |
THE BOC GROUP, INC. |
发明人 |
RICHARD ALLEN HOGLE;GRAHAM A. MCFARLANE;GRAHAM HODGSON;PETER HAROLD BUCKLEY |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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