发明名称 | 光盘母盘原盘及其制造方法、光盘母盘及其制造方法、以及光盘 | ||
摘要 | 本发明的目的在于,可在制造光盘母盘时省去需要长时间且容易产生不良的Ni电铸工序,另外,可形成精度高的细微凹凸图形的光盘母盘原盘等。本发明光盘母盘原盘11是顺序地层积基盘1、半交联抗蚀剂层2及预焙抗蚀剂层3的装置。预焙抗蚀剂层3由甲氧基甲基化蜜胺构成,可容易地通过曝光、显影形成突起部(图1C)。 | ||
申请公布号 | CN1647181A | 申请公布日期 | 2005.07.27 |
申请号 | CN03808580.1 | 申请日期 | 2003.04.15 |
申请人 | 长濑产业株式会社 | 发明人 | 小川修;山中祥次郎;越野定文;三宅公二;佐野一彦 |
分类号 | G11B7/26;G03F7/26;G03F7/004 | 主分类号 | G11B7/26 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈昕 |
主权项 | 1、一种光盘母盘原盘,其包括:基盘;和被设于所述基盘上的半交联抗蚀剂层和含有下记式(1)表示的化合物而构成的预焙抗蚀剂层。<img file="A038085800002C1.GIF" wi="1041" he="360" /> | ||
地址 | 日本大阪 |