发明名称 光盘母盘原盘及其制造方法、光盘母盘及其制造方法、以及光盘
摘要 本发明的目的在于,可在制造光盘母盘时省去需要长时间且容易产生不良的Ni电铸工序,另外,可形成精度高的细微凹凸图形的光盘母盘原盘等。本发明光盘母盘原盘11是顺序地层积基盘1、半交联抗蚀剂层2及预焙抗蚀剂层3的装置。预焙抗蚀剂层3由甲氧基甲基化蜜胺构成,可容易地通过曝光、显影形成突起部(图1C)。
申请公布号 CN1647181A 申请公布日期 2005.07.27
申请号 CN03808580.1 申请日期 2003.04.15
申请人 长濑产业株式会社 发明人 小川修;山中祥次郎;越野定文;三宅公二;佐野一彦
分类号 G11B7/26;G03F7/26;G03F7/004 主分类号 G11B7/26
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 陈昕
主权项 1、一种光盘母盘原盘,其包括:基盘;和被设于所述基盘上的半交联抗蚀剂层和含有下记式(1)表示的化合物而构成的预焙抗蚀剂层。<img file="A038085800002C1.GIF" wi="1041" he="360" />
地址 日本大阪
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