显示装置的制造方法

摘要

一种显示装置的制造方法，利用物镜集中激光束并且将其辐射到具有1微米或者更小的晶粒大小的非晶硅薄膜或者多晶硅薄膜上，从连续波形激光束开始处理激光束，(1)以便于利用EO调制器使其脉动并且在脉动时具有任意的随着时间的能量变化；(2)利用光束均匀器、具有任意透射率分布的滤波器和矩形狭缝使得具有任意的空间能量分布；和(3)利用高速旋转的漫射器来除去相干性。这样，有可能实现一种液晶显示设备，其中，在TFT面板装置中包含驱动电路，该驱动电路包括具有与单晶体属性基本相同的多晶硅膜。

主权项

1.一种使用薄膜晶体管的显示装置的制造方法，其特征在于：在基板上形成多晶半导体膜，在上述基板上形成的上述多晶半导体膜的任意区域中，通过照射连续振荡的激光，并同时将上述连续振荡激光或上述基板扫描，使晶粒在与扫描方向大约平行的方向上生长，形成结晶化的近似带状结晶。