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发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK WAFER PORT AND TOP PLATE WITH EDGE SHIELDING AND GAS SCAVENGING
摘要
申请公布号 EP1556884(A2) 申请公布日期 2005.07.27
申请号 EP20030758388 申请日期 2003.10.22
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 KELLERMAN, PETER, L.;RYAN, KEVIN, T.;MITCHELL, ROBERT, J.
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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