| 发明名称 |
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AQUEOUS DISPERSION AND CHEMICAL MECHANICAL POLISHING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20050076752(A) |
申请公布日期 |
2005.07.27 |
| 申请号 |
KR20050005690 |
申请日期 |
2005.01.21 |
| 申请人 |
JSR CORPORATION |
发明人 |
IKEDA NORIHIKO;NISHIMOTO KAZUO;HATTORI MASAYUKI;KAWAHASHI NOBUO |
| 分类号 |
C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;(IPC1-7):C09K3/14 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
