| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A FIELD EFFECT TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1556910(A2) |
申请公布日期 |
2005.07.27 |
| 申请号 |
EP20030785496 |
申请日期 |
2003.10.29 |
| 申请人 |
HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH |
发明人 |
KOENENKAMP, ROLF |
| 分类号 |
H01L51/05;H01L21/336;H01L21/768;H01L27/28;H01L29/775;H01L29/78;H01L29/786;H01L51/00;H01L51/30;(IPC1-7):H01L51/20 |
主分类号 |
H01L51/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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