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发明名称
摘要
申请公布号	JP3676381(B2)	申请公布日期	2005.07.27
申请号	JP19980516108	申请日期	1997.09.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/105;H01L21/824	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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